Курсовая работа на тему: Анализ режимов получения поверхностных оптических волноводов в градиентном ниобате лития

План работы:

Введение 3
Глава 1. Волноводы в основе интегрально-оптических схем 5
Глава 2. Ниобат лития 8
2.1. Структура и свойства ниобата лития 8
2.2. Выращивание кристаллов ниобата лития 9
2.3. Изготовление регулярной доменной структуры 11
Глава 3. Термическое вакуумное нанесение алюминиевой пленки 12
Глава 4. Фотолитография 15
Глава 5. Методы получения волноводов 18
5.1. Ti-диффузионная технология 19
5.2. Получение оптических волноводов методом ионного обмена (протонного замещения) 26
5.2.1. Диффузионные процессы при ионном обмене 29
5.2.2. Отжиг протонно-обменного волновода 33
Глава 6. Дрейфовые явления в интегрально-оптических схемах на канальных волноводах 35
Глава 7. Высокотемпературные фазы 36
Глава 8. Этапы экспериментальной части работы 38
8.1. Анализ поверхности подложки 38
8.2. Подготовка к нанесению пленки из алюминия на образец 39
8.3. Процесс напыления 39
8.4. Фотолитография 42
8.4.1. Процесс экспонирования 42
8.4.2. Результаты экспонирования 44
8.5. Проведение ионного обмена 45
Заключение 50
Список литературы 51