Дипломная работа на тему: Исследование наноструктур нитрида алюминия методом оптической спектроскопии: анализ образцов, синтезированных импульсным лазерным осаждением

План работы:

ВВЕДЕНИЕ 3
ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ 8
1.1. Фундаментальные свойства нитрида алюминия 8
1.1.1. Физико-химические свойства нитрида алюминия 8
1.1.2. Кристаллическая структура нитрида алюминия 9
1.1.3. Полупроводниковые и оптические свойства нитрида алюминия 12
1.1.4. Пьезоэлектрические свойства нитрида алюминия 14
1.2. Нитевидные кристаллы AlN 15
1.2.1. Диффузионно-дислокационный механизм роста и основное уравнение роста нитевидных кристаллов 16
1.2.2. ПЖК-механизм и модели роста нитевидных кристаллов 22
1.3. Получение нанопроволок нитрида алюминия 37
ГЛАВА 2. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ 40
2.1. Экспериментальный технологический комплекс для получения нитевидных кристаллов AlN методом ИЛО 40
2.1.1. Система лазерного излучения 42
2.1.2. Система подогрева подложек 44
2.1.3. Вакуумная система 45
2.2. Методы исследования нитевидных кристаллов 47
2.2.1. Растровая электронная микроскопия 47
2.2.2. ИК-Фурье спектроскопия 49
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ ALN МЕТОДАМИ ОПТИЧЕСКОЙ СПЕКТРОСКОПИИ 52
ЗАКЛЮЧЕНИЕ 60
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 61