Дипломная работа на тему: Получение и изучение свойств электромагнитных устройств на основе металлических тонкопленочных систем

План работы:

Введение 3
Глава 1. Литературный обзор 4
1.1. Виды электромагнитных устройств и их применение 4
1.2. Изготовление электромагнитных устройств на основе тонкопленочных систем. Достоинства и недостатки 5
1.3. Тонкопленочные металлические системы и их свойства 9
1.4. Способы получения тонкопленочных систем 11
1.4.1. Молекулярно-лучевая эпитаксия 11
1.4.2. Ионно-лучевое распыление 13
1.4.3. Термическое вакуумное напыление 15
1.4.4. Ионно-плазменное распыление 19
1.4.4.1. Катодное распыление 20
1.4.4.2. Магнетронное распыление 23
1.5. Способы измерения толщины тонких пленок 25
1.5.1. Эллипсометрия 25
1.5.2. Электронная микроскопия 26
1.6. Способы измерения удельного сопротивления тонких пленок 28
1.6.1. Четырехзондовый метод 28
1.6.2. Бесконтактный метод измерения 30
Глава 2. Экспериментальная часть 31
2.1. Получение образцов тонких пленок методом магнетронного напыления 31
2.2. Измерение толщины полученных покрытий 34
2.2.1. Микроинтерферометр Линника 34
2.2.2. Растровый электронный микроскоп (РЭМ) 35
2.3. Измерение удельного сопротивления металлических тонких пленок 37
2.4. Изготовление катушек индуктивности на основе тонких пленок 42
2.5. Исследование основных параметров полученных устройств 43
Глава 3. Обсуждение результатов 47
Заключение 53
Список литературы 54